材料本身所具（jù）有的性（xìng）能，必須通過正確的熱處理手（shǒu）段來達到。隻有良（liáng）好的熱處理手段，才能實（shí）現我們預想的性能期望。根據塑封模具材料性能要求，塑封模熱處（chù）理手段（duàn）主要是高溫淬火、深冷處理、高溫回（huí）火，並（bìng）多次反複，通過這些不同的處理，達（dá）到最佳的模具性能。 
1、高溫淬火 
    為了提高（gāo）材料的剛性和（hé）耐磨損性，一般材料均需加熱到1030℃以上。高溫下，各種合金元（yuán）素充分溶解於奧氏體內，以便在淬火（huǒ）時獲（huò）得高的（de）基體硬度，同時為了保證（zhèng）零件不（bú）發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前（qián）半導體行（háng）業內使用的高速率氣淬淬（cuì）火爐，可（kě）以在高真空條件下通過氮氣保護對工件（jiàn）進行加熱，既保證了工件的脫碳氧化，又防止了合金元素的蒸發。同時（shí）采用200-500Kpa範圍內可調節氣體（tǐ）壓（yā）力，對工件進行淬（cuì）火冷卻，在（zài）保證工件充（chōng）分淬透的同時又減少了變形。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高（gāo）合金鋼（gāng）在淬火後，由（yóu）於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫（wēn），為了提高硬（yìng）度，保證尺寸穩定性（xìng），通常要進行深冷處理和（hé）高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分（fèn）轉變為穩定的回火馬氏體。我（wǒ）們將經過真空淬火後的工件，在室溫至（zhì）100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱（xiāng）中進行深冷。工件在不出爐的情況下（xià），可以在-140℃至230℃之（zhī）間進行冷熱循環，保證工（gōng）件不會因為進出爐而產生變形（xíng）或開裂。同時由於采用氮氣保護也避免了工件在回火中的氧化開（kāi）裂（liè）。目（mù）前對於D2類材料，我們通常在深冷設備中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火（huǒ）的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采（cǎi）用了真空回火爐，在抽（chōu）真空後，加入99.999%的高純氮氣作為介質，通過吹風方向的改變來形成對流，保證了工件的溫度均勻（yún）性，同（tóng）時節省了（le）回火時間。 
3、其它輔助手段 
    在提高了淬火回火及（jí）深冷處理質（zhì）量的同時，我們同時（shí）對工件的其（qí）它環（huán）節給予了充分的重視，過（guò）去認為的熱處理工件潔淨度與處理無關的觀（guān）點已經被拋棄，增加潔淨（jìng）預處理。即將未（wèi）入爐（lú）零件，通過真空清洗機進行（háng）真空去油、脫脂、幹燥。去（qù）除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入爐工件不會帶入其它雜質，避免了在高溫加熱時雜質（zhì）分解，汙染爐內環境和工件本（běn）身，從（cóng）微觀上保證（zhèng）了工件的組織潔（jié）淨度和（hé）處理質量的完（wán）美性（xìng），提高了（le）工件的使用壽命。

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