材料本身所具有的性能，必須通（tōng）過正確的熱處理手段來達到。隻有（yǒu）良好的熱（rè）處理手段，才能實現我們預想（xiǎng）的性能期望。根據塑封模具（jù）材料性能要求，塑封模熱處理手段主（zhǔ）要是高溫淬火、深（shēn）冷處理、高溫回火，並多次反複，通過這些不同（tóng）的處理，達到（dào）最佳（jiā）的模具性（xìng）能。 
1、高溫淬火 
    為了提高材（cái）料的剛性和耐磨損性，一般材料均需加熱到（dào）1030℃以上。高溫下，各種合金元素充分溶解於奧氏體內，以便在淬火時獲得高的基體硬度（dù），同時為了保證零件不發生脫碳氧化，相應采用了真空處理。目前半導體行業內使用的高速率氣（qì）淬淬火爐，可以在高真空條件下通過氮氣保（bǎo）護對工件進行（háng）加熱（rè），既保證了工件的（de）脫（tuō）碳氧化，又（yòu）防止了合金元（yuán）素的蒸發。同時采用200-500Kpa範圍內可調（diào）節（jiē）氣體壓力（lì），對工件（jiàn）進行（háng）淬火冷卻，在保證工件充（chōng）分淬透的同時（shí）又減少了變（biàn）形。 
2、深冷處理與高溫回火 
    高合金鋼在淬火後，由於其馬氏體轉變點（Ms點）均高於室溫，為了提高硬度，保證尺寸穩定性，通常（cháng）要（yào）進行（háng）深冷處理和高溫回火，以保證殘餘奧氏體充分轉變為（wéi）穩（wěn）定的回火馬氏體。我們（men）將經過（guò）真空（kōng）淬火後的工件，在室溫至100℃之間進行校正，然後放入-140℃的深冷處理箱中進行（háng）深冷。工件在（zài）不出爐的情況下，可以在-140℃至230℃之間進行冷熱循環（huán），保（bǎo）證工件不會因為進出（chū）爐而產生變形或開裂（liè）。同時由於采用氮氣保護也（yě）避免了工件在回火中的（de）氧化開裂。目前對於D2類材（cái）料，我們通常在（zài）深冷設備中直接完成-140℃深冷（lěng）至230℃回火的3次循環。對於高於230℃回火的鋼種如SAM97、ELmax、ASP23等，我們采用（yòng）了真空回火爐，在（zài）抽（chōu）真（zhēn）空後，加入99.999%的高純（chún）氮（dàn）氣作為介質，通過吹風（fēng）方向（xiàng）的改（gǎi）變來形成對流，保證（zhèng）了工件的溫度均勻性，同（tóng）時節（jiē）省了（le）回火時間。 
3、其它（tā）輔助手段 
    在提（tí）高了淬火回火及深冷處理質量的同時，我們同時對工件的其它環節給予了充分的重視，過去認為的熱處理工件潔淨度與處理無關的（de）觀點已經被拋棄，增加潔淨預處理。即將（jiāng）未入爐（lú）零件，通（tōng）過真空清洗機進行真空去油、脫脂、幹燥。去除了工件的各類加工油汙和碎屑，保證了入爐工件不會（huì）帶入其它雜（zá）質，避免了在高溫加熱時雜質分（fèn）解，汙染爐內環境和工件本（běn）身，從微（wēi）觀（guān）上保證了工件的組織潔淨度和處理質量的完美性（xìng），提高了工件的使用壽命。

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